重生千禧大玩家 第1098节(3/3)

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同时,另一个工作台也进行对准、调焦、下片等行动。
    “因为芯片制造的过程中,并不是一次曝光就可以完成,而是需要经历多次曝光。”
    “在曝光完一个区域之后,放置硅晶圆的曝光台就必须快速进行移动,接着曝光下一个需要曝光的区域,想要在这么多次快速移动中实现纳米级别的对准,双工作台就必须做到精度高而且操作时间短,这项技术本来只有asml有,但现在已经被我们突破了。”
    陆飞滔滔不绝,如数家珍。
    领导们一言不发,目不转睛地盯着运行中的光刻机,虽然不是第一次见到光刻机,但一想到这是第一台国产的duv浸润式光刻机,都压不住激动的心情,尽可能地往前靠,想凑得更一些,看得更清楚一些。

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